日本新宇宙COSMOS XD-303 (自动吸引式)半导体特气检测仪
简介: |
--采用定电位电解式传感器,对被测气体具有选择性 --高检测灵敏度、能检测很多种类的半导体特气 --液晶数字显示 |
日本新宇宙COSMOS XD-303 (自动吸引式)半导体特气检测仪技术参数: |
型 号 | XD-303AH | XD-303PH | XD-303BH | XD-303 | 检测对象气体 | 砷烷 (ASH3) | 磷 烷 (PH3) | 乙硼烷 (B2H6) | 其它 | 检 测 范 围 | - 0~1ppm
0~0.2ppm | 0~1ppm 0~0.3ppm | 0~1ppm | 因规格而异 | zui 小 刻 度 | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm | | 采 样 方 式 | 自动吸引式 | 应 答 速 度 | 60%应答40秒 |
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