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产品名称:日本新宇宙COSMOS XP-703D半导体特气检漏仪

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产品报价:

产品特点:泰立仪器代理销售 日本新宇宙COSMOS XP-703D半导体特气检漏仪--Z适合于检测半导体特气的微量泄漏--采用声光报警,咨询。

日本新宇宙COSMOS XP-703D半导体特气检漏仪的详细资料:

 日本新宇宙COSMOS XP-703D(自动吸引式)半导体特气检漏

简介:

--于检测半导体特气的微量泄漏
--采用声光报警

 

日本新宇宙COSMOS XP-703D(自动吸引式)半导体特气检漏仪技术参数:

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

(单位:ppm)

砷烷、磷烷、乙硼烷、硅烷、氢气

AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H2

0.2、0.3、0.1、0.5、1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10 秒以内

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