全自动钨灯丝扫描电子显微镜

全自动钨灯丝扫描电子显微镜KYKY-EM6900

产品特点

l   具备较高分辨率，满足大多数样品的微观形貌测试

l   翻开式预对中钨丝阴极，更换灯丝方便

l   成像效果优良，细节清晰，景深大

l   样品仓室可多接口扩展，满足诸多原位测试，以及多功能嵌入

l   中英文菜单，一键切换

l   自动功能：电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等。

l   自动校正，自动故障检测

l   KYKY系列电镜在世界范围内受到广泛的好评。目前国内已有3000多家存量客户，并远销俄罗斯、委内瑞拉、尼日利亚、巴基斯坦、伊拉克、叙利亚等二十几个国家和地区。

KYKY系列电镜广泛应用于高校、研究院、公安、消防、地质、石油、陶瓷、锂电、汽车、医药、生物、半导体等各行各业。科研领域用户包括清华大学、北京大学、北京航空航天大学、上海交通大学、燕山大学、中南大学、郑州大学、中国石油大学、湖南大学、东华大学、中南石油大学、西南石油大学、桂林电子科技大学、合肥工业大学、南方科技大学、哈尔滨工业大学、成都大学等百所科研院校。典型企业用户例如比亚迪、富士康、银隆新能源、浪潮集、上汽集团、珠海光宇、厦门钨业、贝特瑞等，部分企业用户多次购买KYKY系列电镜。

应用领域

电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料

产品特性

n   分辨率高、成像质量好

n   翻开式预对中钨丝阴极、选配六硼化镧灯丝

n   中英文操作界面，具有一键成像功能

n   低维护、维修成本

技术指标

KYKY-EM6900是一款由计算机控制的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的电子光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台，获取图片后可以用常见的标准格式存储图像， 强化了图片归档、图像处理和测量、电镜自动化及其他自动功能。

电子光学

电子枪：预对中钨灯丝

分辨率：3nm@30KV （SE）； 6nm@30KV （BSE）

放大倍率：8～300000 倍

加速电压：0～30kV连续可调，0-10kV步进量为100V，10kV以上步进量为1kV

探针电流：0～2000nA

透镜系统：三级锥形电磁透镜系统，一体式屏蔽设计，无漏磁，无辐射泄露

物镜光阑：三个可在真空外调节，无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑

真空系统

二级全自动真空系统（机械泵＋分子泵）

具备真空互锁功能

主泵为Edwards复合涡轮分子泵

样品仓室真空优于2.6E-3 Pa

抽真空时间：≤ 3 分钟

探测器

高真空二次电子探测器

四分割大面积半导体BSE探测器

红外CCD摄像头

样品室、样品台

样品室提供不少于5个可扩展接口，可接WDS、EDS、BSE 等多种附件和探测器

样品台配置：五轴全自动样品台

行程：X=70mm,Y=50mm,Z=45mm，R=360°，T=-5°～+90°

最大样品直径Ф175mm

最大样品高度35mm

样品台有碰撞报警功能

扫描、成像特性

图像显示：可选择全屏显示或分屏显示，可进行多通道成像，分屏上可同时进行不同信号成像

扫描速度：预设四种扫描模式（快扫、中扫、慢扫、选区扫描），扫描速度自由配置，支持感兴趣区域扫描模式

图像存储格式：默认格式为TIF，可另存为BMP、GIF、JPG、PNG

图像处理器：最大像素显示可达4096×4096

图像层次丰富细致，实时显示放大倍数，标尺，加速电压，显示灰度曲线

控制系统

操作系统：Windows10中文专业版正版系统

图像存储：大容量硬盘或其它存储介质上，或直接打印输出。

计算机配置：主流工作站，配置不低于DELL T3650；I5-11500；16G 1TB+512G SSD DVD RWP2422H

软件控制系统：立体显示图标，通过按键、鼠标或手控盒（选配）自动完成调节操作：电位移调节、多标尺测量、电对中调节、物镜反转、物镜调节、电旋转调节等

中英文菜单一键切换，低倍率一键成像

自动功能：自动亮度/对比度、自动聚焦、自动消象散、自动灯丝调节

使用环境条件：

温湿度：16～30℃；相对湿度小于70%

电力供应：埋设独立的地线，保证其接地电阻小于5Ω，标准正弦波，无噪音、瞬变、振荡和脉冲

供电：AC 220V（±10%），50Hz（±1%），总功率3000W

独立空开，规格25A；可控制2个16A、不少于2个10A三芯插座

振动：在安装位置上，任何方向的振动都应小于3μm（P-P )

磁场：保证任何方向的磁感应强度都应小于3×10-7T(3毫高斯，P-P)

注：建议安装2楼及以下，并远离地铁、公路、铁路等震源，远离变电设备、高频设备等磁场干扰。

应用案例

铜箔行业

KYKY扫描电镜在铜箔行业（包括锂电池电解铜箔、PCB铜箔、电磁屏蔽铜箔等）市场超过50%。山东金宝，超华科技，诺德股份，江西铜业，江西铜博、常州铭丰，河南灵宝，珠海镇东，嘉元科技，联合铜箔惠州，广东梅县雁电解铜箔有限公司，苏西铜箔等企业均采购KYKY中科钨灯丝扫描电镜。

锂电行业

锂离子电池负极材料供应商，深圳贝特瑞新能源材料购买扫描电镜六台；上市公司浙江华友钴业购买扫描电镜三台；光宇集团购买扫描电镜两台；再升科技购买扫描电镜两台。此外，江西正拓新能源、国光电子、上海西恩迪科技有限公司、TCL 金能电池、惠州亿纬锂能、北大先行科技产业有限公司、义腾新能源等均使用KYKY扫描电镜。

医疗、陶瓷、生物、建筑等行业的应用中也很广泛。