产品分类
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品牌 | SENSEXRF/善时 | 产地类别 | 国产 |
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背散射电子图像分辨率 | 15nm(30kV,SEImage) | 二次电子图象分辨率 | 3nm |
加速电压 | 1~30kV | 放大倍数 | 30~60,000x |
价格区间 | 50万-100万 | 仪器种类 | 冷场发射 |
应用领域 | 化工,生物产业,电子,制药,综合 |
善时扫描电子显微镜SS-60系列
SS-60 系列产品作为基础款台式扫描电镜,能满足大部分用户的基本实验需求,配置 SE 二次电子探测器与 BSE 背散射电子探测器,载物平台可配置三轴(X,Y,R)手动平台,也可升级为五轴(X,Y,R,Z,T)自动平台,全系列产品均可配置 EDS 能谱分析仪。
扫描电子显微镜已广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
自动/手动扫描电镜
扫描电镜SS-60系列是一种用于放大并观察物体表面结构的电子光学仪器。产品结构设计简洁,高低压真空设计,可调试电压,为不同样品提供更合适的检测环境。
概况
扫描电子显微镜的英文全称为Scanning Electron Microscope,简称扫描电镜或者SEM。扫描电镜是一种用于放大并观察物体表面结构的电子光学仪器。扫描电镜由镜筒、电子信号的收集和处理系统、电子信号的显示和记录系统、真空系统和电源系统等组成,具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。
软件特性
台式电镜,体形小巧,占用空间小;
强大的软件功能,单窗口操作界面让用户操作方便简单;
软件实现检测图形实时存储;
产品结构设计简洁,易于维护及保养;
自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品;
高低压真空设计,可调试电压,为不同样品提供更合适的检测环境
产品说明:
(1 )放大倍率是6万倍;
(2 )采用二次电子和背散射电子两种探测器;
(3)加速电压有1KV、5KV、10KV、15KV、20KV、30KV可选,图像分辨率高;
(4 )通过选配EDS可进行元素成份分析;
(5 )选配冷却台可在无前置处理的情况下对水分进行采样分析;
(6 )高/低真空的配置可缩短前处理过程;
(7 )选配CCD摄像头可实时观察载物台内部;
产品说明:
(1)放大倍率6万倍(Magnification Max 60,000 X);
(2)采用二次电子和背散射电子双重探测器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector);
(3)5kV~30kV加速电压选择,图像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution);
(4)通过选配EDS可进行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis);
(5)Tilt(0~90)载物台配置(可选择)(Tilt Stage configuration( optional))。
产品特性:
(1)台式扫描电子显微镜,体型小巧,占用空间小;
(2)强大的软件功能,单窗口操作界面,让用户操作方便简单;
(3)软件实现检测图形实时存储;
(4)扫描电子显微镜产品结构设计简洁,易于维护及保养;
(5)自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品。
善时扫描电子显微镜SS-60系列技术参数:
分辨率
15nm (30kV, SE Image)
20nm (30kV, BSE Image)
放大倍率
30~60,000 X
加速电压
5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)
图像检测
二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image
背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image
* Multi Detector (SE+BSE)
观察模式
Standard Mode
Charge-up reduction mode
电子枪系统
灯丝类型
预对中钨灯丝
偏压系统
自动偏压方式
电子枪校正
手动方式
透镜构成
聚光镜
2段式磁线圈透镜
物镜
1段式磁线圈透镜
探测器类型
SE Detector/ BSE Detector
载物台系统
自动或者手动
载物台移动
3轴(X,Y,R)或5轴(X,Y,R,Z,T)
图像偏移
Image shift X, Y Image Shift (±150μm)
样品尺寸
高度40mm时直径70mm
图像扫描
快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)
图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)
图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)
自动功能
自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节
图像存储格式
BMP, JPEG, PNG,TIFF
数据显示
放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等
真空系统
高真空模式
(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min
(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec
抽真空时间:3分钟以内
操控系统
鼠标和键盘
PC:台式电脑(Desk Top)
软件
图像文件打开,编辑,存储功能长度,面积,角度等测量功能,设置数初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等
体积
设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm
重量
95kg
设备环境
温度:15℃~30℃
湿度:70% or less
电源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz
预对中钨灯丝Pre Centered tungsten filament 5 pcs/box
载物台(Sample Stage)
高度基准模块(Height standardmaster) 1ea
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