全国服务咨询热线:
0755-83981166/83981822
0755-83981166/83981822
产品分类
Product classification详细介绍
| 品牌 | KYKY/中科科仪 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气,综合 |
|---|
中科科仪扫描电镜
简介
扫描电镜作为一种通用大型科学仪器，是人类认识、探索微观重要的工具，是肉眼观察和光学显微镜观测的延伸。人类眼睛的分辨率大约0.2毫米，可以看到一根头发丝的粗细、一张纸的厚度；借助于光学显微镜可以看到0.2微米的这个尺度，可以看到细胞、细菌的结构等；而借助扫描电子显微镜，就可以观察到纳米级尺度，可以观测到病毒、半导体器件的纳米结构等。
扫描电镜广泛应用到材料科学、生命科学、航天航空、环境保护、半导体制造等领域，解决微米至纳米尺度的微观形貌观测以及微区成分分析问题，为我国前沿科学研究、重大工程和战略新兴产业的发展提供了重要支撑。
具备较高分辨率，满足大多数样品的微观形貌测试
翻开式预对中钨丝阴极，更换灯丝方便
成像效果优良，细节清晰，景深大
样品仓室可多接口扩展，满足诸多原位测试，以及多功能嵌入
中英文菜单，一键切换
自动功能：电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等。
自动校正，自动故障检测
技术参数
分辨率 3nm@30kV（SE）
样品台 自动样品台
加速电压 0～30kV连续可调
探测器 高真空二次电子探测器、半导体四分割背散射电子探测器、CCD
灯丝 六硼化镧（选配）
电子光学镜筒部分： 800×800×1850(mm)
电器柜控制部分： 1340×850×740(mm)
优势
1.分辨率高、成像质量好
2.翻开式预对中钨丝阴极、选配六硼化镧灯丝
3.中英文操作界面，具有一键成像功能
4.低维护、维修成本
产品特点
具备较高分辨率，满足大多数样品的微观形貌测试，尤其适合不便喷涂导电膜的试样
翻开式枪室结构钨丝阴极，更换灯丝方便
结构可实现样品室低真空氛围（10-270Pa），有效降低电荷积累
成像效果优良，细节清晰，景深大
中英文菜单，一键成像
易操作，低故障，适合多试样测试
自动功能：电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等
自动校正，自动故障检测
技术参数
分辨率 3nm@30KV（SE，高真空）； 6nm@30KV（BSE，高、低真空）
放大倍率 8～300000 倍
电子枪 翻开式预对中钨丝阴极
加速电压 0～30kV连续可调，0-10kV步进量为100V，10kV以上步进量为1kV
中英文菜单 具有一键切换功能
低真空模式 10~270Pa，真空切换时间小于90秒
样品台 四轴自动样品台
电子光学镜筒部分： 800×800×1850(mm)
电器柜控制部分： 1340×850×740(mm)
特性
1）具备低真空功能
2）分辨率高、成像质量好
3）翻开式预对中钨丝阴极、选配六硼化镧灯丝
4）中英文操作界面，具有一键成像功能
选配件： EBL、高低温台、纳米操作台、拉伸台
选配探测器： EBSD、EDS、CL
应用领域
电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料。
KYKY-EM8000 性能参数
分辨率
1.5 nm(15KV); 5nm(3KV)
放大倍数
15x~500,000x
加速电压
0 ~ 30KV
电子枪
Schottky肖特基场发射电子枪
自动调整功能
聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等
真空系统
高真空二次电子探测器（具备保护探测器探头不被碰撞的功能）
行程
X0 ~ 80mmY0 ~ 60mmZ0 ~ 50mmR360°T-5° ~ 90°
探测器
SE探测器，BSE探测器（可选），X-ray能谱仪（可选），EBSD（可选）
KYKY-EM8100 场发射扫描电子显微镜
具有高性能肖特基场发射电子枪，低加速电压成像，并具备超大样品腔室和多探测器扩展接口，适用于多种原位测试。该设备具备长时间工作的稳定性，能直接观测非导体试样或电子束敏感试样而无需喷镀导电膜。其分辨率可达0.9nm（30kV），放大倍率高达2-3000000倍，适用于电池材料、半导体、复合材料等多个领域的研究。
产品特点：
高性能肖特基场发射电子枪，亮度高、单色性好、束斑小、寿命长
具备的低加速电压成像性能
超大样品腔室，更多扩展接口，满足多探测器、多功能联用、多嵌入原位测试
束流稳定，满足长时间工作需求
非导体试样或电子束敏感试样可不喷涂导电膜直接观测
技术指标：
分辨率 0.9nm@30KV（SE）; 3.0nm@1KV（SE） ; 2.5nm@30KV （BSE）
放大倍率 2-3000000 倍
加速电压 0.2～30kV
电子枪 肖特基热场发射电子枪
样品台 五轴全自动预对中样品台
透镜系统 多级高性能透镜系统，低像差锥形物镜
探测器 高真空二次电子探测器（具备防碰撞功能）
应用领域：
电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料
中科科仪扫描电镜行业应用
产品咨询
电子邮箱：
公司地址：深圳市龙岗区龙翔大道9009号珠江广场A2栋13D
